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Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible polyimide membranes

書誌事項

タイトル
Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible polyimide membranes
著者
Sunao Murakami, Daisuke Ishihara, Masateru Araki, Tomoyoshi Horie, Naoto Ohira, Takahiro Ito

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詳細情報

  • CRID
    1010000782297029764
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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