【2022年1月締切】CiNii ArticlesへのCiNii Researchへの統合に伴う機関認証の移行確認について

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Pulse Frequency Dependence of a-SiCN Diaphragm for Environmental Cell Fabricated by Magnetic-Field-Assisted and Pulsed-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

書誌事項

タイトル
Pulse Frequency Dependence of a-SiCN Diaphragm for Environmental Cell Fabricated by Magnetic-Field-Assisted and Pulsed-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
著者
Masanori MURANO, Takaomi MATSUTANI, and Tadahiro KAWASAKI

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詳細情報

  • CRID
    1010000782299467904
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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