【2022年1月締切】CiNii ArticlesへのCiNii Researchへの統合に伴う機関認証の移行確認について

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Growth analysis of self-formed Ti-rich interface layers in Cu(Ti)/dielectric-layer samples using Rutherford Backscattering Spectrometry

書誌事項

タイトル
Growth analysis of self-formed Ti-rich interface layers in Cu(Ti)/dielectric-layer samples using Rutherford Backscattering Spectrometry
著者
小濱和之, 伊藤和博, 森健壹, 前川和義, 白井泰治, 村上正紀

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詳細情報

  • CRID
    1010000782428855445
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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