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Nine-fold density multiplication of hcp lattice pattern by directed self-assembly of block copolymer

書誌事項

タイトル
Nine-fold density multiplication of hcp lattice pattern by directed self-assembly of block copolymer
著者
Yasuhiko Tada, Satoshi Akasaka, Mikihito Takenaka, Hiroshi Yoshida, Ricardo Ruiz, Elizabeth Dobisz, Hirokazu Hasegawa

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詳細情報

  • CRID
    1010000782431933581
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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