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Reduction of Threading Dislocations in AlGaN/AIN/SiC Epitaxial Layers by Controlled Strain with (AIN Yuu Wakamiya*, Fumio Hasegawa, /GaN) Multi-buffer-layer Structure

書誌事項

タイトル
Reduction of Threading Dislocations in AlGaN/AIN/SiC Epitaxial Layers by Controlled Strain with (AIN Yuu Wakamiya*, Fumio Hasegawa, /GaN) Multi-buffer-layer Structure
著者
Kouichi Murakawa*, Eiichiro Niikura, Fumio Hasegawa, and Hideo Kawanishi

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詳細情報

  • CRID
    1010000782441274012
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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