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入出力線形補償型制御器を用いた超音波モータの精密位置決め制御

書誌事項

タイトル
入出力線形補償型制御器を用いた超音波モータの精密位置決め制御
著者
岡 正人

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詳細情報

  • CRID
    1010000782449651594
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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