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非共振型超音波アクチュエータ駆動精密ステージの位置決め制御における摩擦補償法

書誌事項

タイトル
非共振型超音波アクチュエータ駆動精密ステージの位置決め制御における摩擦補償法
著者
橋本,大石,小坂,石川,久保田,大見

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詳細情報

  • CRID
    1010000782457639305
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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