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Stress-enhancement in free-standing Si pillars through non-equilibrium dehydrogenation in SiN:H stress-liners by UV-light irradiation

書誌事項

タイトル
Stress-enhancement in free-standing Si pillars through non-equilibrium dehydrogenation in SiN:H stress-liners by UV-light irradiation
著者
T.Tanaka, T.Sadoh, M.Kurosawa, M.Tanaka, et al.

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詳細情報

  • CRID
    1010000782481068572
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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