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Evaluation using X-ray diffraction of backside damage of silicon wafer introduced by a cavitating jet

書誌事項

タイトル
Evaluation using X-ray diffraction of backside damage of silicon wafer introduced by a cavitating jet
著者
H.Soyama

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詳細情報

  • CRID
    1010282256581806212
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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