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Oxidized surface structure and oxidation kinetics for C-terminated 6H-SiC(000-1)

書誌事項

タイトル
Oxidized surface structure and oxidation kinetics for C-terminated 6H-SiC(000-1)
著者
Y.Hoshino, R.Fukuyama, Y.Kido

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詳細情報

  • CRID
    1010282256582137736
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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