【7/12更新】2022年4月1日からのCiNii ArticlesのCiNii Researchへの統合について

Dependence of Depth Resolution in Sputter Depth Profiling on Primary Energy of Low-Energy Ions

書誌事項

タイトル
Dependence of Depth Resolution in Sputter Depth Profiling on Primary Energy of Low-Energy Ions
著者
T.Bungo, T.Nagatomi, Y.Takai

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詳細情報

  • CRID
    1010282256597883525
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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