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Low-Temperature Growth and Characterization of Epitaxial YMnO_3/Y_2O_3/Si MFIS Capacitors with Thinner Insulator Layer

書誌事項

タイトル
Low-Temperature Growth and Characterization of Epitaxial YMnO_3/Y_2O_3/Si MFIS Capacitors with Thinner Insulator Layer
著者
K.Haratake, N.Shigemitsu, M.Nishijima, T.Yoshimura, N Fujimura

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詳細情報

  • CRID
    1010282256752688791
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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