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FeターゲットPLD膜の熱処理によるβ-FeSi_2下層膜の形成

書誌事項

タイトル
FeターゲットPLD膜の熱処理によるβ-FeSi_2下層膜の形成
著者
片寄淳, 大内雅之, 菅原宏治, 五十嵐考俊, 岸眞人, 土屋昌弘

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詳細情報

  • CRID
    1010282256762744834
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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