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Piezoelectric microactuators composed of PZT thin films on Si substrates

書誌事項

タイトル
Piezoelectric microactuators composed of PZT thin films on Si substrates
著者
Isaku Kanno, Yoshiro Tazawa, Takaaki Kunisawa, Takaaki Suzuki, Hidetoshi Kotera

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詳細情報

  • CRID
    1010282256777470218
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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