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CuTi合金スパッタ薄膜の機械的特性及び電気抵抗率に及ぼす 時効の効果

書誌事項

タイトル
CuTi合金スパッタ薄膜の機械的特性及び電気抵抗率に及ぼす 時効の効果
著者
桜井淳平, 秦 誠一, 下河辺明

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詳細情報

  • CRID
    1010282256778087556
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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