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A Study on Selective Etching of SiGe Layers in SiGe/Si Systems for Device Applications

書誌事項

タイトル
A Study on Selective Etching of SiGe Layers in SiGe/Si Systems for Device Applications
著者
Takashi Yamazaki et al.

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詳細情報

  • CRID
    1010282256778150792
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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