【7/12更新】2022年4月1日からのCiNii ArticlesのCiNii Researchへの統合について

Study of neutral-beam etching conditions for the fabrication of 7-nm-diameter nanocolumn structures using ferritin iron-core masks

書誌事項

タイトル
Study of neutral-beam etching conditions for the fabrication of 7-nm-diameter nanocolumn structures using ferritin iron-core masks
著者
Tomohiro Kubota

収録刊行物

被引用文献 (0)

もっと見る

参考文献 (0)

もっと見る

関連論文

もっと見る

関連研究データ

もっと見る

関連図書・雑誌

もっと見る

関連博士論文

もっと見る

関連プロジェクト

もっと見る

関連その他成果物

もっと見る

詳細情報

  • CRID
    1010282256781795601
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
ページトップへ