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Siナノドットメモリにおけるート酸化膜厚依存性

書誌事項

タイトル
Siナノドットメモリにおけるート酸化膜厚依存性
著者
P.Punchaipetch, 市川和典, 矢野裕司, 畑山智亮, 浦岡行治, 冬木隆, 高橋英治, 林司

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詳細情報

  • CRID
    1010282256782127746
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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