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Formation of graphite re-deposition layer by hydrogen RF plasma

書誌事項

タイトル
Formation of graphite re-deposition layer by hydrogen RF plasma
著者
K.Katayama, H.Nagase, Y.Manabe, Y.Kodama, T.Takeishi, M.Nishikawa

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詳細情報

  • CRID
    1010282256782761612
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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