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Development of a molecular dynamics potential for Si-H systems and its application to CVD reaction process

書誌事項

タイトル
Development of a molecular dynamics potential for Si-H systems and its application to CVD reaction process
著者
S.Izumi, Y.Sato, S.Hara, S.Sakai

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詳細情報

  • CRID
    1010282256845633410
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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