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Simulation of Radio Frequency Microplasma in Ar Dielectric Discharge with Coplanar Electrodes

書誌事項

タイトル
Simulation of Radio Frequency Microplasma in Ar Dielectric Discharge with Coplanar Electrodes
著者
F.Tochikubo, S.Uchida

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詳細情報

  • CRID
    1010282256845657987
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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