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Fabrication of Single-Crystal SiC Thin Film and Its Application to Microstructure

書誌事項

タイトル
Fabrication of Single-Crystal SiC Thin Film and Its Application to Microstructure
著者
MORONUKI, Nobuyuki, KAKUTA, Akira, TAKAOKA, Katsunori

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詳細情報

  • CRID
    1010282256859068166
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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