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Transparent Conducting Amorphous Zn-Sn-O Films Characterization of Transparent Conducting Amorphous ZnO-SnO_2 Films Deposited by Opposed Target Sputtering System

書誌事項

タイトル
Transparent Conducting Amorphous Zn-Sn-O Films Characterization of Transparent Conducting Amorphous ZnO-SnO_2 Films Deposited by Opposed Target Sputtering System
著者
Y.Hayashi et al.

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詳細情報

  • CRID
    1010282256859311752
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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