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High-temperature in-situ cross-sectional TEM investigation of crystallization process of YSZ/Si thin films

書誌事項

タイトル
High-temperature in-situ cross-sectional TEM investigation of crystallization process of YSZ/Si thin films
著者
Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani

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詳細情報

  • CRID
    1010282256865228545
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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