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Dielectric and Piezoelectric Properties of Highly (100)-Oriented BaTiO_3 Thin Film Grown on a Pt/TiO_x/SiO_2/Si Substrate Using LaNiO_3 as A Buffer Layer

書誌事項

タイトル
Dielectric and Piezoelectric Properties of Highly (100)-Oriented BaTiO_3 Thin Film Grown on a Pt/TiO_x/SiO_2/Si Substrate Using LaNiO_3 as A Buffer Layer
著者
Y.Guo, K.Suzuki, K.Nishizawa, T.Miki, K.Kato

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詳細情報

  • CRID
    1010282256905934472
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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