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Submicron dry-etching behavior of β-FeSi_2 thin films towards fabrication of photonic crystals

書誌事項

タイトル
Submicron dry-etching behavior of β-FeSi_2 thin films towards fabrication of photonic crystals
著者
A. Imai and Y. Maeda

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詳細情報

  • CRID
    1010282256909998982
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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