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Development of Mgsio_3 Biocompatible Piezoelectric Film for Bio-MEMS Actuator

書誌事項

タイトル
Development of Mgsio_3 Biocompatible Piezoelectric Film for Bio-MEMS Actuator
著者
MAEDA, K, UENOYA, T, TSUCHIYA, K, UETSUJI, Y, NAKAMACHI,E

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詳細情報

  • CRID
    1010282256910096029
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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