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C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその科学的、電気的特性

書誌事項

タイトル
C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその科学的、電気的特性
著者
田澤 将太, 酒井 洋輔, 須田 善行, 菅原 広剛

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詳細情報

  • CRID
    1010282256910226053
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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