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Pulse Injection法によるGaNのMOVPE成長 (MOVPE growth of GaN by pulse injection method)

書誌事項

タイトル
Pulse Injection法によるGaNのMOVPE成長 (MOVPE growth of GaN by pulse injection method)
著者
梁正承, 杉山正和, 中野義昭, 霜垣幸浩

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詳細情報

  • CRID
    1010282256924137604
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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