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MEMS技術による柔軟型シリコン触覚イメージセンサ

書誌事項

タイトル
MEMS技術による柔軟型シリコン触覚イメージセンサ
著者
矢和田将貴, 高尾英邦, 澤田和明, 石田誠

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詳細情報

  • CRID
    1010282256927619328
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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