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Epitaxial lift-off of InGaAs/InAlAs metamorphic high electron mobility heterostructures and their van der Waals bonding on AIN ceramic substrates

書誌事項

タイトル
Epitaxial lift-off of InGaAs/InAlAs metamorphic high electron mobility heterostructures and their van der Waals bonding on AIN ceramic substrates
著者
Y. Jeong, M. Shindo, M. Akabori, and T. Suzuki

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詳細情報

  • CRID
    1010282256958660097
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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