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Two-dimensional encoder with picometre resolution using lattice spacing on regular crystalline surface as standard

書誌事項

タイトル
Two-dimensional encoder with picometre resolution using lattice spacing on regular crystalline surface as standard
著者
M Aketagawa, H Honda, M Ishige and C Patamaporn

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詳細情報

  • CRID
    1010282256963625984
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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