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Dry etching properties of boron carbon nitride (BCN)films usingcarbon fluoride gas.

書誌事項

タイトル
Dry etching properties of boron carbon nitride (BCN)films usingcarbon fluoride gas.
著者
H. Aoki, T. Sasada, D. Watanabe, M. K. Mazumder, C. Kimura, T. Sugino

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詳細情報

  • CRID
    1010282257011907977
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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