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A Numerical Approach to the Efficient Analysis of 2D RF-MEMS Capacitor with Accelerated Motion

書誌事項

タイトル
A Numerical Approach to the Efficient Analysis of 2D RF-MEMS Capacitor with Accelerated Motion
著者
Shafrida Sahrani, Edward David Miieg Michiko Kuroda

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詳細情報

  • CRID
    1010282257021984775
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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