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Surface Adhesion Control of Patterned Perfluoro Polymer for Release Technology in theμTAS Fabrication Process

書誌事項

タイトル
Surface Adhesion Control of Patterned Perfluoro Polymer for Release Technology in theμTAS Fabrication Process
著者
T. Kobayashi and S. Konishi

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詳細情報

  • CRID
    1010282257044212356
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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