【7/12更新】2022年4月1日からのCiNii ArticlesのCiNii Researchへの統合について

Batch production of single-crystal diamond bridges and cantilevers for microelectromechanical systems

書誌事項

タイトル
Batch production of single-crystal diamond bridges and cantilevers for microelectromechanical systems
著者
M.Y.Liao, C.Li, S.Hishita, Y.Koide

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詳細情報

  • CRID
    1010282257072252823
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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