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薄硬質材と薄軟質材の積層工昇を用いた超音波加2による微細溝群の創成

書誌事項

タイトル
薄硬質材と薄軟質材の積層工昇を用いた超音波加2による微細溝群の創成
著者
篠塚淳

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詳細情報

  • CRID
    1010282257087171079
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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