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Submicron comb-drive actuators fabricated on thin single crystalline silicon layer

書誌事項

タイトル
Submicron comb-drive actuators fabricated on thin single crystalline silicon layer
著者
K.Takanashi, E.Bulgan, Y.Kanamori, K.Hane

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詳細情報

  • CRID
    1010282257407551108
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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