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中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO2の堆積と微細加工

書誌事項

タイトル
中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO2の堆積と微細加工
著者
高橋智一, 井口史匡, 湯上浩雄, 江刺正喜, 田中秀治

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詳細情報

  • CRID
    1010282257413165698
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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