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Hydride vapor phase epitaxy of InN by the formation of InCl3 using In metal and Cl2

書誌事項

タイトル
Hydride vapor phase epitaxy of InN by the formation of InCl3 using In metal and Cl2
著者
Yoshinao Kumagai, Jun Kikuchi, Yuuki Nishizawa, Hisashi Murakami, Akinori Koukitu

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詳細情報

  • CRID
    1010282257417771010
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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