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Effect of c-plane sapphire misorientation on the growth of AlN by high-temperature MOVPE

書誌事項

タイトル
Effect of c-plane sapphire misorientation on the growth of AlN by high-temperature MOVPE
著者
K. Nagamatsu, N. Okada, N. Kato, T. Sumii, A. Bandoh, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano and I. Akasaki

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詳細情報

  • CRID
    1010282257417805447
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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