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Characterization of Void in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Controlling Coherence Length of Light Source using Near-Infrared Microscope

書誌事項

タイトル
Characterization of Void in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Controlling Coherence Length of Light Source using Near-Infrared Microscope
著者
Noritaka AJARI, Junichi UCHIKOSHI, Takaaki HIROKANE, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA

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詳細情報

  • CRID
    1010282257423723780
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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