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Fabrication of Site-Controlled Tunnel Pits with High Aspect Ratios by Electrochemical Etching of Al Using Masking Film, Electrochem.

書誌事項

タイトル
Fabrication of Site-Controlled Tunnel Pits with High Aspect Ratios by Electrochemical Etching of Al Using Masking Film, Electrochem.
著者
K. Nishio, T. Fukushima, A. Takeda, H. Masuda

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詳細情報

  • CRID
    1010282257435591577
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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