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Incorporation of hydrogen in carbon-tungsten co-deposition layer formed by hydrogen plasma sputtering

書誌事項

タイトル
Incorporation of hydrogen in carbon-tungsten co-deposition layer formed by hydrogen plasma sputtering
著者
K., Katayama・T., Okamura・K., Imaoka・M., Sasaki・Y., Uchida・M., Nishikawa・S., Fukada

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詳細情報

  • CRID
    1010282257436080390
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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