【2022年1月締切】CiNii ArticlesへのCiNii Researchへの統合に伴う機関認証の移行確認について

【1/6更新】2022年4月1日からのCiNii ArticlesのCiNii Researchへの統合について

Formation of 100-μm-deep Vertical Pores in Si Wafers by Wet Etching and Cu Electrodeposition

書誌事項

タイトル
Formation of 100-μm-deep Vertical Pores in Si Wafers by Wet Etching and Cu Electrodeposition
著者
C.-L. Lee, S. Tsuru, Y. Kanda, S. Ikeda, M. Matsumura

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詳細情報

  • CRID
    1010282257440052354
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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