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マイクロ繊毛アクチュエータ群の開発〜ニッケルめっきに電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験〜

書誌事項

タイトル
マイクロ繊毛アクチュエータ群の開発〜ニッケルめっきに電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験〜
著者
西田吉人, 石附言行, 林川広一

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詳細情報

  • CRID
    1010282257466452617
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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