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単結晶ダイヤモンドMEMSデバイスの研究

書誌事項

タイトル
単結晶ダイヤモンドMEMSデバイスの研究
著者
廖 梅勇, 井村 将隆, サン リウエン, 寺地 徳之, 小泉 聡, 小出 康夫

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詳細情報

  • CRID
    1010848250363112449
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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