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有機金属分解(MOD)法によるナノ構造無機化合物薄膜コーティング技術

書誌事項

タイトル
有機金属分解(MOD)法によるナノ構造無機化合物薄膜コーティング技術
著者
菅原 徹, 渡邊 厚介

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詳細情報

  • CRID
    1011412880721869824
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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