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小特集 プラズマ・インフォマティクス : データ駆動科学のプラズマへの応用 3. 機械学習によるプラズマエッチング率予測

書誌事項

タイトル
小特集 プラズマ・インフォマティクス : データ駆動科学のプラズマへの応用 3. 機械学習によるプラズマエッチング率予測
著者
木野日織、幾世和将、DAM Hieu Chi, 浜口智志

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詳細情報

  • CRID
    1011694355531164288
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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