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Reduction of threading dislocation density and suppression of cracking in sputter-deposited AlN templates annealed at high temperatures

書誌事項

タイトル
Reduction of threading dislocation density and suppression of cracking in sputter-deposited AlN templates annealed at high temperatures
著者
Kenjiro Uesugi, Yusuke Hayashi, Kanako Shojiki, Hideto Miyake

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詳細情報

  • CRID
    1011975830715923072
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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